仕組み:ロータリースクリュー真空ポンプ
ロータリー スクリュー真空ポンプは、他の真空技術 (水封式真空ポンプなど) ほど長く存在していなかったかもしれませんが、今日の産業用真空アプリケーションで最も頻繁に使用される技術の 1 つになっています。
スクリュー ポンプのしくみ
ロータリー スクリュー ポンプは、反対方向に回転する 2 つの嵌合スクリュー ローターで構成される容積式ポンプです。この回転により、トラップされた空気/ガスがスクリューの長さに沿って移動します。閉じ込められたガスがスクリューに沿って移動すると、圧縮され、最終的に反対側の端から排出されます。これらの真空ポンプは、ポンプ ハウジング内で金属同士が接触しないように設計されているため、ポンプの摩耗が最小限に抑えられ、機器のオーバーホールが少なくなります。
スクリューポンプは、オイルシール式またはドライ式のいずれかです。オイルシールスクリューポンプは、潤滑、シール、および冷却の目的でオイルを使用します。木工やプラスチックなど、クリーンな真空を必要としない粗い真空アプリケーションに最適です。ドライスクリューポンプは、チャンバー内にオイル/潤滑剤を使用しません。むしろ、これらは通常、空冷式で、オイルの排出がなく、オイルシール式スクリュー ポンプよりも高い真空を実現することもできます。
木工、梱包、洗浄と乾燥、ピック アンド プレースなど、さまざまな用途でスクリュー ポンプを使用することでメリットが得られます。
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