真空システム漏れ検知:技術とヒント
真空漏れは、圧縮空気システムの配管漏れとは異なる形で現れます。可聴音、泡テスト、臭いは加圧システムで一般的ですが、これらは真空漏れでは機能しません。真空漏れは、構造物の物理的穴、シール汚染、容器壁からのガス放出などが原因となります。漏れは微小でもプロセスに劇的な影響を与えることがあります。作業圧力範囲に応じて、様々な真空漏れ検査技術が存在します。
真空漏れの特定方法
- 溶媒テスト – 粗真空漏れには溶媒テストが有効。アセトンやアルコールをコンポーネントに噴霧し、真空ゲージ(熱電対ゲージなど)の変化で漏れを検知。
- 圧力上昇テスト – システム漏れ検査のもう一つの方法。一定時間内の容器内圧力上昇率を測定。漏れの有無は判明しますが、漏れ箇所の特定には不向き。想定より速く漏れる場合は、より精密な調査が必要。より深い真空域ではヘリウムなど軽いガスを漏れ周辺に噴霧。ヘリウム流入が質量分析計やリークディテクターで検知され、漏れの内容と場所を精密に特定。中〜高真空域で有効だが、粗真空ではあまり効果的でない。
漏れのないシステムは、良好なプロセス結果とシステム運転の鍵です。使用真空レベルに応じて、漏れ発見と封止の方法が決まります。
お使いのシステムで潜在的な真空漏れを特定する方法については、アトラスコプコエキスパートまでお問い合わせください。
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