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高度なサブピクセル空間分解能干渉計:ナイキスト限界を超える

NASAマーシャルのイノベーターたちは、アラバマ州立大学ハンツビル校応用光学センターと共同で、干渉計の撮像システム/検出器の基本的なナイキスト限界を超えて、光学表面の干渉測定空間分解能を向上させるシステムを開発しました。サブピクセル空間分解能干渉計(SSRI)システムにより、光学製造者は標準干渉計では正確に分解できない空間周波数の表面形状を正確に評価できます。

光学設計の現在のトレンドは新タイプの仕様を生み出し、明確な空間周波数帯域を要求し、より大口径光学を求めています。しかし、これらの特徴を全開口で特性評価する能力には改善が必要です。SSRIシステムは、サブピクセル横方向シフトで撮影した低分解能測定をインターレースステッチングする技術を取り入れ、全開口干渉測定の空間分解能を向上させることでこのニーズに応えます。

SSRIシステムは、光学表面の複数回測定を、電荷結合素子(CCD)検出器と被試験光学系の間でサブピクセルシフトを与えながら行い、測定を組み合わせてより高い空間分解能を持つ単一測定を作成します。

測定はステッチングアルゴリズムで結合されます。この方法により、画素サイズと間隔で定義される空間分解能制約が緩和されます。光学系がより高い空間周波数特徴を通過できるよう設計されていると仮定します。この新技術により、精密光学を仕様に対して正確に評価し、製造者がより高い空間周波数誤差を決定論的に補正できるようになります。SSRIシステムは、既存の市販干渉計と干渉プロファイラにわずかな修正で統合し、達成可能な空間分解能を向上させられます。

NASAはこの技術の商業化ライセンシーを積極的に募集しています。NASAライセンシングコンシェルジュまでお問い合わせください。 202-358-7432でライセンス協議を開始できます。詳細についてはこちら  をご覧ください。

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