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サブピクセル空間分解能干渉法

NASAマーシャルのイノベーターは、アラバマ大学ハンツビル校の応用光学センターと協力して、干渉計のイメージングシステム/検出器の基本的なナイキスト限界を超えて光学面の干渉測定の空間分解能を向上させるシステムを開発しました。サブピクセル空間分解能干渉法(SSRI)システムにより、光学製造業者は、標準の干渉計では正確に解像できなかった空間周波数の表面の特徴を正確に認定できます。

光学設計の現在の傾向は、新しいタイプの仕様を生み出しており、明確な空間周波数帯域を必要とし、より大きな開口光学系を求めています。ただし、これらの機能をフルアパーチャで特性化するには、改善が必要です。 SSRIシステムは、サブピクセルの横方向シフトで取得された低解像度測定のインターレーススティッチングを組み込んだ技術を使用して、フルアパーチャ干渉測定の空間解像度を高め、空間解像度を向上させることで、このニーズを満たします。

SSRIシステムは、電荷結合デバイス(CCD)検出器と測定中の光学部品との間でサブピクセルシフトを伴う光学面の複数の測定を実行することにより、干渉測定の空間分解能を向上させます。次に、測定値を組み合わせて、より高い空間分解能を持つ単一の測定値を作成します。

測定値は、ステッチングアルゴリズムを使用して結合されます。この方法は、ピクセルサイズと間隔によって定義される空間解像度の制約を緩和します。光学システムは、より高い空間周波数の特徴が通過できるように設計されていると想定されています。この新しい技術により、精密光学部品を仕様に対して正確に認定し、製造業者がより高い空間周波数エラーを決定論的に修正できるようになります。 SSRIシステムは、わずかな変更を加えて、既存の市販の干渉計および干渉プロファイラーに統合して、取得可能な空間分解能を高めることができます。

NASAは、この技術を商業化するためのライセンシーを積極的に探しています。 NASAのライセンスコンシェルジュに連絡してください。このメールアドレスはスパムボットから保護されています。表示するにはJavaScriptを有効にする必要があります。または、202-358-7432に電話して、ライセンスに関する話し合いを開始してください。こちらのリンクをたどってください 詳細については。


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