ISMI、SEMI E10準拠のWebベースRAM計算ツール「RAMCalc」を発表

国際SEMATECH製造イニシアチブ（ISMI）は本日、半導体製造装置の装置レベル、モジュールレベル、ウェハレベルにおける主要な信頼性、可用性、保守性（RAM）指標を取得、集計、レポートするクラウドベースの計算ツールRAMCalcを発表しました。このツールは、装置性能測定の業界ベンチマークであるSEMI E10標準に準拠しています。

シングルパスと複雑なマルチパスクラスターツールの両方に対応するよう設計されたRAMCalcは、以下を自動計算します：

平均故障間隔（MTBF）
平均修理時間（MTTR）
平均オフライン時間（MTOL）
可用性

基本的なシングルパス版は無料で公開されており、スタンドアロンまたは非クラスタード製造装置に最適です。高スループットクラスター環境向けに設計されたマルチパス版は、これらの機能をマルチパスツールに拡張します。

「堅牢なデータ収集ソリューションは正確な装置デモンストレーションテストに不可欠です」とISMIプロジェクトマネージャーのローン・クリストル氏は述べています。「RAMCalcは、一貫したデータ収集メカニズムから導かれる精密で標準化された性能指標を提供します。」

アルゴリズムは製造装置に直接ロードでき、生成される指標がSEMI E10に完全準拠することを保証します。共同プロジェクトマネージャーのジョー・ビークマン氏は、「RAMCalcは高度に適応可能です。現在SEMI E10指標を生成しますが、同じフレームワークを他の生産性状態や将来の未定義指標に合わせて調整できます」と述べています。

今年後半に予定されているSEMI E10標準の改定投票（マルチパスクラスターツールの計算を正式化する目的）を控え、RAMCalcは将来のアップデートを予見し準拠するよう設計されています。

RAMCalcのソースコードは、ISMIの協調アプリケーション開発環境（CADe）を通じて無料で入手可能です。これはISMIメンバーと非メンバーを相互利益ベースで歓迎するコミュニティソースプログラムです。

ISMIは2010年11月1日のISMIシンポジウムで包括的なトレーニングセッションを開催し、以下をカバーします：

対象プロセスセット
シングルパスクラスターツール
マルチパスクラスターツール
マラソンテストと大量生産でのRAMCalc実践活用

基本版RAMCalcアプリケーションはISMIの公開サイトから直接アクセス可能です：https://ismi.sematech.org/industry/ramcalc/index.htm

詳細やお問い合わせは以下まで：

ジョー・ビークマン – jo.beekman@ismi.sematech.org
ローン・クリストル – lorn.christal@ismi.sematech.org

ISMIについて
ISMIは世界トップクラスの半導体メーカーによるグローバルアライアンスであり、協調的製造効率化プログラムを通じてウェハ当たりコスト、ひいてはダイ当たりコストの削減に専念しています。ISMIはSEMATECH（www.sematech.org）の完全子会社です。

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