Fanucクリーンルームロボットの清浄度は?:包括的評価
クリーンルームロボットに求められる清浄度基準
クリーンルームロボットは、空気中の粒子レベルを一定基準以下に制御・維持する必要がある環境で稼働するよう開発されました。Fanucは、ほぼあらゆるラボ・クリーンルーム施設用途に対応できるよう、異なるリーチとペイロード能力を持つクリーンルームロボットライン全体を開発しました。しかし、Fanucクリーンルームロボットシステムにとって「どれくらいクリーン」が十分なのでしょうか?
清浄度クラス1〜100,000のスケール
Robotics.orgによると、クリーンルームロボットの清浄度クラス1〜100,000は、立方フィートあたりの粒子数(クリーンルーム体積に相当)を測定するスケールです。クラス1ロボットは、立方フィートあたり0.5ミクロン粒子が1個以下の環境で稼働可能。クラス100ロボットは同サイズ粒子100個/立方フィートまでの環境対応、以下同様です。
Fanucクリーンルームロボットの特殊仕様
Fanucクリーンルームロボットシステムは、特殊ベルト・コーティング・パーツを採用し、動作中に粒子を空気中に飛散させず、各クリーンルームに必要なレベル以下に汚染を抑制。LCD製造、ディスクドライブ組立、その他ハードウェア製造エレクトロニクスでは、クリーンルームロボットが部品組立時の汚染を最小限に抑えるため不可欠です。
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