高純度面シール継手の説明

真空面シール継手が高純度半導体用途に最適な理由

Masroor Malik、Swagelok、半導体市場マネージャー

より強力なチップを製造するために必要なプロセスノードの小型化を半導体業界が果てしなく追求していることを考えると、プロセスの清浄度を維持することはますます困難になっています。これらの絶え間なく変化するニーズを満たすために、ファブは妥協のない精度と清潔さの生産環境を作成する必要があり、OEM はそれらのニーズを満たすために継続的に向上する機器を開発する必要があります。

不活性ガスや特殊ガスなど、最も要求の厳しい超高純度 (UHP) 流体システム アプリケーションでは、フィッティング接続は、ツール OEM にとって重要な考慮事項です。 UHP システムは多くの場合、漏れの可能性を最小限に抑えるために溶接されていますが、特定の接続はメンテナンスまたは交換のために定期的に再作成する必要があります。しかし、一部の最新のプロセス流体と動作条件の腐食性により、エラストマー O リング シールを使用した従来のフィッティング オプションは、材料の非互換性のために信頼性の高いサービスには適さない場合があります。一方、気密性は最も重要です。漏れは危険であり、UHP 環境を汚染する可能性があり、製造業者の収益の損失と保守費用に多大な損害を与える可能性があります。

これらのアプリケーションでは、真空面シール継手が潜在的なソリューションとなります。従来のフィッティングと比較して、この技術は金属間シールの信頼性を提供し、真空から正圧への設計で漏れのない性能を提供します。真空面シール継手は、閉じ込め領域を最小限に抑えることで全体的な清浄度を高めるのにも役立ち、簡単な取り付けプロセスで生産とメンテナンスの効率を向上させることができます。

妥協のないシール性能

真空面シール継手は、1960 年代に超高真空システムで使用するために最初に開発されました。これは、原子力産業の画期的な科学研究に極めて重要なものでした。今日、非常に毒性が高く、腐食性があり、可燃性の流体に対して漏れのないシールを維持する能力により、半導体製造で最も一般的なアプリケーションのいくつかに理想的になっています.

真空面シール継手は、高度に研磨された 2 つのビードを使用して、雄ナットと雌ナットの嵌合中に金属ガスケットを変形させ、このような高いレベルの性能を実現します。シールは、ビードの「面」でガスケットに発生し、フィッティングにその名前を付けます。ビーズがガスケットに浸透するとシールが形成されるため、ガスケットの材料は常にビーズよりも柔らかくなければなりません。この変形により、ビーズは光沢を保持できます。これは、シール性能にとって重要です。重要なことは、フィッティングを分解するときはいつでも、磨かれたビーズを保護する必要があることです。通常の動作条件下では、フィッティングを流れるガスによってシールが完全に掃引されるため、パージが容易になり、閉じ込められたボリュームやデッド スペースを回避する必要があるシステムに最適です。

真空フェース シール フィッティングは、漏れのないシールを維持できるため、半導体製造における最も重要なアプリケーションのいくつかに最適です。

信頼性の高いシールを作成することに加えて、真空面シール継手は、従来のチューブ継手と比較して、汚染物質が閉じ込められる可能性のある領域を排除するように設計されています。半導体の UHP プロセスには、最終的に下流に移動してプロセス チャンバー内のウェーハにさらされるガスが含まれているため、清浄度と純度を確保する機会は貴重です。真空面シール継手は、半導体製造環境で要求される優れた清浄度を提供します。一部のサプライヤは、追加の拡張機能を提供する場合があります。ニッケルとクロムの濃度が高い高品質のステンレス鋼は、耐腐食性をさらに向上させることができ、電解研磨などの表面仕上げ処理により不動態化層が形成され、清浄度が向上します。

効率的な設置とメンテナンス

UHP システムのメンテナンスと維持手順は、施設の運用への影響を最小限に抑えて迅速に完了する必要があります。半導体製造の、時は金なりです。

真空面シール継手は簡単に分解して作り直すことができるため、分岐点が必要な UHP アプリケーションで効率とメンテナンスの利点を提供します。インストールは簡単で、一般的なツールで実行できます。まず、接続部を手で締めるまでねじ込みます。次に、オス ナットを固定したまま、メス ナットをレンチで 1/8 回転 (45°) 手で締めた位置まで進めます (または、銅製ガスケットを使用する場合は 1/4 回転 90°)。リメイクが必要な場合は、技術者が使用済みのガスケットを取り外して別のガスケットに交換し、元のメークアップの指示に従う必要があります。この単純なプロセスは、システムの初期組み立て時やメンテナンスが必要なときに効率を高め、ユーザーがより迅速に生産に戻るのに役立ちます。

真空面シール フィッティングの取り付け方法を見る

真空面シール継手は、信頼性とメンテナンスの容易さが重要な UHP システムでの理想的な選択肢です。システムにそれらを指定する場合は、適切なサプライヤーと協力することも重要です。

スウェージロックには、シリコンバレーの黎明期にさかのぼる、半導体アプリケーション プロセス用の流体システムにおけるイノベーションの伝統があります。ビデオデッキ ^® メタル ガスケット フェース シール フィッティングは、メーカー施設を通過して OEM チップ製造ツールに流れる UHP ガスの処理と分配で発生する固有の課題を解決するために特別に設計されました。

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